مضخات التفريغ DVE من نوع الزيت هي أنواع شائعة الاستخدام من مضخات التفريغ DVE في صناعة أشباه الموصلات. الميزة الرئيسية هي الفراغ العالي ، والتي يمكن أن تلبي متطلبات العملية الخاصة للصناعات الجديدة. من بينها ، مضخات التفريغ DVE ذات الريشة الدوارة ومضخات التفريغ DVE الترددية هم الممثلون الرئيسيون.

مع مرور الوقت وتقدم المجتمع ، أصبح أداؤهم في التطبيقات المختلفة أقل إرضاءً للناس. على سبيل المثال ، لا تستطيع مضخات التفريغ DVE ذات الريشة الدوارة ضخ بخار الماء والغازات القابلة للتكثيف والغازات المسببة للتآكل ، وما إلى ذلك ، وبالتالي ، ظهرت مضخة التفريغ DVE الجافة.

في السنوات العشر الماضية أو نحو ذلك ، تم تصميم وإنتاج عدة أنواع مختلفة من مضخات التفريغ الجافة DVE ، ولديها اختلافات واضحة في تصميم الهيكل الميكانيكي. بسبب هذا الاختلاف ، يمكننا تعميم مضخات التفريغ الجافة DVE في الأنواع التالية: نوع الانقسام الدائري ، نوع المخلب ، النوع المدمج (مخلب الجذور) ، النوع اللولبي. اليوم ، تستخدم هذه الأنواع على نطاق واسع من قبل مختلف الشركات المصنعة.

من بينها ، النوع ذو الانقسام الدائري ونوع المخلب والنوع المدمج (مخلب الجذور) تسمى مضخات متعددة المراحل. نظرًا لأنهم يعملون بالطريقة نفسها تقريبًا ، فإنهم جميعًا يستخدمون غرف تفريغ متعددة المراحل لضغط الغاز بشكل متكرر لتوليد فراغ. في عملية الضغط المتكرر ، تؤدي درجة حرارة الغاز وضغطه أيضًا إلى تغييرات أكثر تعقيدًا ، لذلك من السهل إحداث تغييرات في الخصائص الفيزيائية للغاز.

يُطلق على النوع اللولبي مضخة أحادية الطور لأنها تعتمد فقط على حجرة التفريغ لتوليد الفراغ. وفقًا لطرق ضغط الغاز المختلفة ، يمكن تقسيمها إلى مضخة لولبية من نوع الضغط الداخلي ومضخة لولبية من نوع الضغط الخارجي.